1 简介

真(zhen)空泵(beng)(beng)是一种旋转(zhuan)式变容真(zhen)空泵(beng)(beng)须有前级泵(beng)(beng)配(pei)合方可使用在较宽的(de)压(ya)力范围(wei)内有较大(da)的(de)抽(chou)速(su)对被抽(chou)除气体(ti)中含有灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏感广泛用于冶(ye)金、化(hua)工、食品、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较宽的压力范围内有(you)较大的抽速；

(2)转(zhuan)子具有(you)良好的几何对(dui)称(cheng)性，故(gu)振动小，运(yun)转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间(jian)及转(zhuan)子和壳体间(jian)均有(you)间(jian)隙，不用润滑，摩擦(ca)损失(shi)小，可大大降低(di)驱(qu)动功率，从而可实现(xian)较(jiao)高(gao)转(zhuan)速；

(3)泵腔(qiang)内无需(xu)用(yong)油密(mi)封和润滑(hua)，可减(jian)少油蒸气(qi)对真空系统的污染；

(4)泵腔内(nei)无(wu)压缩，无(wu)排气阀(fa)。结构(gou)简单、紧凑，对被(bei)抽气体中的灰尘和(he)水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低(di)，对氢气(qi)抽气(qi)效果差；

(6)转子表面(mian)为形(xing)状较为复杂(za)的曲线(xian)柱面(mian)，加工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体结(jie)构型式

真空泵的(de)泵体的(de)布置结(jie)构决定了泵的(de)总体结(jie)构。

立式结(jie)构的(de)进(jin)、排气口水(shui)平设置，装配(pei)和连接管路都比较(jiao)方便。但泵的(de)重心较(jiao)高，在高速(su)运转时(shi)稳定(ding)性差，故这种型式多(duo)用于小泵。

卧式泵(beng)的(de)进气(qi)(qi)口在(zai)上，排(pai)(pai)气(qi)(qi)口在(zai)下。有时为了真空系统管道(dao)安装连接(jie)方(fang)便，可将排(pai)(pai)气(qi)(qi)口从(cong)水(shui)平方(fang)向接(jie)出(chu)，即进、排(pai)(pai)气(qi)(qi)方(fang)向是相互垂直的(de)。此时，排(pai)(pai)气(qi)(qi)口可以从(cong)左或右两个方(fang)向开口，除接(jie)排(pai)(pai)气(qi)(qi)管道(dao)一端(duan)(duan)外，另(ling)一端(duan)(duan)堵死或接(jie)旁通阀。这(zhei)种(zhong)泵(beng)结(jie)构(gou)重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵(beng)多采用此种(zhong)结(jie)构(gou)。

泵的两个转子轴与水平面(mian)(mian)垂直(zhi)安(an)装。这种结构装配间隙(xi)容易控制(zhi)，转子装配方便，泵占地面(mian)(mian)积(ji)小(xiao)。但泵重心(xin)较(jiao)高且齿轮拆装不(bu)便，润(run)滑机(ji)构也相(xiang)对复杂。

（2） 泵的传动方式

真空泵的(de)两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是通(tong)(tong)过一(yi)(yi)(yi)对(dui)高精(jing)度齿(chi)轮来(lai)实现其相对(dui)同(tong)步(bu)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)。主(zhu)动(dong)(dong)轴通(tong)(tong)过联轴器与电机(ji)联接。在传(chuan)动(dong)(dong)结构布置(zhi)上主(zhu)要有以下两种：其一(yi)(yi)(yi)是电动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)轮放在转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)同(tong)一(yi)(yi)(yi)侧(ce)如图(tu)。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电动(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)轮直接传(chuan)过去带动(dong)(dong)，这样(yang)主(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形小，则两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)(jian)隙不(bu)会因(yin)主(zhu)动(dong)(dong)轴的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形大而改变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)(jian)隙在运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过程中均匀。这种传(chuan)动(dong)(dong)方(fang)式的(de)最大缺点是：a.主(zhu)动(dong)(dong)轴上有三(san)个轴承，增加(jia)了泵的(de)加(jia)工和装配难度，齿(chi)轮的(de)拆(chai)装及调整也不(bu)便；b.整体结构不(bu)匀称，泵的(de)重心偏向电动(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)轮箱一(yi)(yi)(yi)侧(ce)。

    极限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的一个(ge)重要参数(shu)，是反应(ying)泵(beng)(beng)抽气能力的特性值，是与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)相(xiang)关的一个(ge)数(shu)值，不同(tong)的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)可以有不同(tong)的“极限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)。而“理(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是理(li)论研究时的一个(ge)概念，是排除(chu)各种(zhong)实际因素的影(ying)响(xiang)而提炼出(chu)的一种(zhong)最理(li)想的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)状(zhuang)态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器经(jing)充分抽气后，稳定在某一真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)称(cheng)为(wei)(wei)极限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器须(xu)经(jing)12小时炼气，再(zai)经(jing)12小时抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，最后一个(ge)小时每隔10分钟测(ce)量(liang)一次，取(qu)其10次的平均值为(wei)(wei)极限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)值。